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半導體濺射靶材圓靶（坯）

產(chǎn)品名稱	高純鈦靶材（靶坯）
生產(chǎn)工藝	軋制、精加工
生產(chǎn)基地	寧波創(chuàng)潤基地
產(chǎn)品規(guī)格	根據(jù)客戶圖紙加工
產(chǎn)品包裝	木盒子
起訂量	1 件
應用領域	半導體

聯(lián)系我們

純度等級

標準

子公司

產(chǎn)品詳情

項目	3N	3N5	4N	4N5	5N	5N5	單位	檢測方法
總純度	≥99.9	≥99.95	≥99.99	≥99.995	≥99.999	≥99.9995	%?[wt]	?
Ag	-	-	1	0.5	0.01	0.01	ppm [wt]	GDMS
Al	-	50	10	3	2	2	ppm [wt]	GDMS
As	-	-	10	1	0.5	0.5	ppm [wt]	GDMS
Au	-	-	1	0.5	0.25	0.25	ppm [wt]	GDMS
B	-	1	-	0.1	0.05	0.05	ppm [wt]	GDMS
Be	-	-	-	0.5	0.5	0.5	ppm [wt]	GDMS
Bi	-	-	-	0.1	0.05	0.05	ppm [wt]	GDMS
Ca	-	-	1	1	0.5	0.5	ppm [wt]	GDMS
Cd	-	-	-	1	0.2	0.2	ppm [wt]	GDMS
Cl	600	10	5	1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Co	-	-	5	1	0.05	0.05	ppm [wt]	GDMS
Cr	-	20	5	1	0.8	0.8	ppm [wt]	GDMS
Cu	-	50	5	2	1	1	ppm [wt]	GDMS
F	-	-	-	15	0.5	0.5	ppm [wt]	GDMS
Fe	700	200	10	7	5	3	ppm [wt]	GDMS
Hg	-	-	-	0.5	0.5	0.1	ppm [wt]	GDMS
K	-	0.1	0.1	0.05	0.05	0.01	ppm [wt]	GDMS
Li	-	0.1	0.1	0.05	0.05	0.005	ppm [wt]	GDMS
Mg	-	1	2	1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Mn	-	10	5	1	1	0.5	ppm [wt]	GDMS
Mo	-	-	4	1	0.05	0.05	ppm [wt]	GDMS
Na	-	-	0.2	0.03	0.03	0.03	ppm [wt]	GDMS
Ni	250	25	5	1	0.5	0.5	ppm [wt]	GDMS
P	-	-	-	1	0.25	0.01	ppm [wt]	GDMS
Pb	-	-	-	1	0.1	0.01	ppm [wt]	GDMS
Pd	-	-	-	0.1	0.1	0.01	ppm [wt]	GDMS
S	-	-	10	10	5	3	ppm [wt]	GDMS
Sb	-	-	7	0.5	0.5	0.05	ppm [wt]	GDMS
Si	200	50	5	2	1	1	ppm [wt]	GDMS
Sn	-	-	5	1	0.5	0.01	ppm [wt]	GDMS
Te	-	-	-	0.5	0.5	0.05	ppm [wt]	GDMS
Th	-	0.001	0.001	0.0005	0.0001	0.0001	ppm [wt]	GDMS
U	-	0.001	0.001	0.0005	0.0001	0.0001	ppm [wt]	GDMS
V	-	-	-	1	1	1	ppm [wt]	GDMS
W	-	-	-	1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Zn	-	-	5	1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Zr	-	-	5	3	1	1	ppm [wt]	GDMS
Ba	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Br	-	-	-	0.5	0.5	0.5	ppm [wt]	GDMS
Ce	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Cs	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Ga	-	-	-	0.5	0.5	0.5	ppm [wt]	GDMS
Ge	-	-	-	0.5	0.5	0.5	ppm [wt]	GDMS
Hf	-	-	-	1	1	1	ppm [wt]	GDMS
I	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
In	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
La	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Pt	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Re	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Rh	-	-	-	0.2	0.2	0.2	ppm [wt]	GDMS
Ru	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Sc	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Se	-	-	-	0.5	0.5	0.5	ppm [wt]	GDMS
Pr	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Nd	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Sm	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Eu	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Gd	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Tb	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Dy	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Ho	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Er	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Tm	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Yb	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Lu	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Os	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Ir	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Pt	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
Tl	-	-	-	0.1	0.1	0.1	ppm [wt]	GDMS
C	200	150	50	30	30	30	ppm [wt]	LECO
H	50	10	5	10	6	6	ppm [wt]	LECO
N	200	100	50	30	30	30	ppm [wt]	LECO
O	800	700	450	300	200	100	ppm [wt]	LECO

高純金屬靶材,PVD鍍膜,CVD鍍膜,薄膜濺射靶材

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